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尾气处理设备
  • IEM- Gemini Constellation砷烷/磷烷尾气处理系统

    IEM公司的GEMINI化合物尾气处理系统在世界范围内一直以来都被人们所熟知,几乎所有的工厂都有其GEMINI系统用来处理来自MOCVD的砷烷和磷烷气体。Gemini Constellation 系统是在已经供给很多用户GEMINI MKII的基础上发...

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  • IEM- Gemini Cirrus 砷烷/磷烷尾气处理系统

    IEM公司的GEMINI化合物尾气处理系统在世界范围内一直以来都被人们所熟知,几乎所有的工厂都有其GEMINI系统用来处理来自MOCVD的砷烷和磷烷气体。 Gemini Cirrus 系统是在已经供给很多用户GEMINI MKII的基础上发展而来...

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  • Crosstek- 湿法ICP/PECVD尾气处理设备

    本系统主要用于处理ICP/PECVD系统排放的废气,如BCL3,CL2,HCL,SiCl4等水溶性气体。优良的设计保证了高处理效率和容易使用的同时具有低运行和维护成本的特点。标准型系统为4个入口,总气体流量为600LPM。当然,也可...

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  • Crosstek- 湿法NH3尾气处理设备

    微电子半导体行业经常会产生对环境高腐蚀性,高危害的气体和颗粒。半导体制程设备排放可能会含有制程气体和新生成的气体或颗粒。出于环境,环境健康方面的考虑和越来越严格的政府规定促使使用空气污染气体排放控制系...

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  • Crosstek- 干法吸附尾气处理设备

    Xtek X-CARB POU系列干法吸附式scrubber可以处理各种尾气当中的污染气体。它采用高效优良的吸附媒介来移除有毒物质。根据客户的不同需求,可以提供各种规格配置。内置的各种传感器,可以监测压降,温度,和媒介等情况...

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