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湿法ICP/PECVD尾气处理设备

简单介绍:

本系统主要用于处理ICP/PECVD系统排放的废气,如BCL3,CL2,HCL,SiCl4等水溶性气体。优良的设计保证了高处理效率和容易使用的同时具有低运行和维护成本的特点。标准型系统为4个入口,总气体流量为600LPM。当然,也可以根据客户需要进行设计。

规格:

进气口数: 4个文丘里入口 (其它规格可选)
气源: 1) PECVD 2) ICP 
总气体流量: 600 L/min (36 m3/hr) (其它规格可选)
目标污染物: 水溶性酸性气体 (NOx, F2, Cl2, SiCl4, HCl等)
设备尺寸: ~ L1.0m x W1.0m x H1.8m  
设备重量: 无水时 – 150kg; 运行时– 200kg

特性:

. 通过PH自动控制进水阀补水
. 通过窗口可以观察、维护Scrubber内部
. 喷淋头可触及便于清理更换
. 总体材料为耐腐蚀
. 循环喷淋泵压力监控保护

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