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Gemini Cirrus

简单介绍:

IEM公司的GEMINI化合物尾气处理系统在世界范围内一直以来都被人们所熟知,几乎所有的工厂都有其GEMINI系统用来处理来自MOCVD的砷烷和磷烷气体。
Gemini Cirrus 系统是在已经供给很多用户GEMINI MKII的基础上发展而来。和Constellation相比较,系统主要定位为研发和小规模生产单位,具有较小的尺寸和处理能力,但设计原理和其它功能基本上都保持一致。

规格:

. 处理气体: 主要处理来自MOCVD的砷烷、磷烷等气体
. 入口数量: 2个文丘里入口
. 处理能力: 最大4L/Min 磷烷, 1L/Min 砷烷
. 最大总气体流量: 500L/min
. 设备尺寸: ~1.5m(L)×0.95m(D)×2.2m(H)

特性:

. 高处理能力,最多可接2台MOCVD
. 高处理效率,砷烷和磷烷处理之后含量到50ppb以内(MSDS标准)
. 系统坚固,设计紧凑
. PLC和触摸屏控制
. 高可靠性和低使用维护成本

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